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SLPM-D-DB9M/CM, GAS: Air 艾里卡特 流量控制器

发布时间2023-5-9 9:08:00
摘要

SLPM-D-DB9M/CM, GAS: Air 艾里卡特 流量控制器

精度升级

量程为 0.5 SCCM - 6000 SLPM,

其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段,下述指标升级:

质量流量普通精度 ± 0.6%_读数或 ± 0.1%_满量程(取最大值)

质量流量高精度 ± 0.5%_读数或 ± 0.1%_满量程(取最大值)

重复性 ±(0.1%_读数 + 0.02%_满量程)

质量流量零点漂移 ± 0.01%_满量程 / ℃(从 25 ℃开始)

± 0.01%_满量程 / Atm(从校准压力开始)

质量流量量程漂移 ± 0.01%_读数 / ℃(从 25 ℃开始)

± 0.1 %_读数 / Atm(从校准压力开始)

选项配件

● 标准性能

多功能数字显示屏

显示多种测量参数:质量流量、体积流量、温度和压力

低压损

无需预热

Viton密封

8针mini-DIN电信号接口

标准圆形电源接口

RS-232多点式数字输出

0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选

内置30种气体可选

200:1量程可调比

NPT接头

可测量从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量

有条件的终身质保

● 可选性能

高精度

累加器

6针、DB9或DB15电信号接口

ProfiBUS数字信号输出

RS-485数字信号输出

4-20mA模拟信号输出

第二种模拟信号输出

TFT背光彩色显示屏

远程显示屏

远程TFT背光彩色显示屏

丙烯酸绝缘涂层

EPDM密封

NeSSI本体

氧气清洁

用于高温环境的远程电子包装

SAE接头

VCR, VCO接头

5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)

双向流动

额外标定点

定制混个气体(最多4种)

定制流量范围

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