精度升级
量程为 0.5 SCCM - 6000 SLPM,
其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段,下述指标升级:
质量流量普通精度 ± 0.6%_读数或 ± 0.1%_满量程(取最大值)
质量流量高精度 ± 0.5%_读数或 ± 0.1%_满量程(取最大值)
重复性 ±(0.1%_读数 + 0.02%_满量程)
质量流量零点漂移 ± 0.01%_满量程 / ℃(从 25 ℃开始)
± 0.01%_满量程 / Atm(从校准压力开始)
质量流量量程漂移 ± 0.01%_读数 / ℃(从 25 ℃开始)
± 0.1 %_读数 / Atm(从校准压力开始)
选项配件
● 标准性能
多功能数字显示屏
显示多种测量参数:质量流量、体积流量、温度和压力
低压损
无需预热
Viton密封
8针mini-DIN电信号接口
标准圆形电源接口
RS-232多点式数字输出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
内置30种气体可选
200:1量程可调比
NPT接头
可测量从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量
有条件的终身质保
● 可选性能
高精度
累加器
6针、DB9或DB15电信号接口
ProfiBUS数字信号输出
RS-485数字信号输出
4-20mA模拟信号输出
第二种模拟信号输出
TFT背光彩色显示屏
远程显示屏
远程TFT背光彩色显示屏
丙烯酸绝缘涂层
EPDM密封
NeSSI本体
氧气清洁
用于高温环境的远程电子包装
SAE接头
VCR, VCO接头
5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
双向流动
额外标定点
定制混个气体(最多4种)
定制流量范围